XD型旋片式真空泵为油封式机械真空泵，泵体内部设有旋片与定子偏心配合，旋转时旋片在离心力与弹簧力作用下紧贴定子内壁，将泵腔分隔为吸气腔与排气腔。极限真空可达0.1帕，抽气速率1至300升每秒，配备气镇阀可抽除含可凝性蒸汽的气体。油箱设有油位观察窗与放油塞，真空泵油采用专用矿物油或合成油，粘度等级68或100。进气口配置电磁充气阀，停机时自动向泵内充气防止返油。排气口设油雾过滤器，回收润滑油减少污染。适用于真空镀膜、真空热处理、电子器件排气及科研实验，环境温度5至40摄氏度，相对湿度不大于85%。